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Schlüsselwörter

Haarsensor

Land

DE

Anmeldung

Datum: 04.04.2013

Erteilung

Amtliches Zeichen:
DE102013005633B4

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Produktion von Mikrostrukturen in Mikrosystemen

Projektzeichen-Innowi

UN458-3

Sachstatus

erteilt

Anmelder

Universität Bremen

Erfinderdaten

  • Lang, Prof. Dr.-Ing. Walter