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Vorrichtung und Verfahren zur Prozessüberwachung mehrerer Teiglinge in einer Prozesskammer sowie eine Prozesskammer mit einer derartigen Vorrichtung

Projektzeichen-Innowi

BB172-2

Sachstatus

erteilt

Erfinderdaten

  • Lütjen, Dr.-Ing. Michael
  • Rohde, Ann-Kathrin
  • von Bargen, Markus
  • Stukenborg, Florian
  • Fitzel, Tobias
  • Giefer, Lino Antoni